(1)超高精度制备:可实现原子级平整表面,表面粗糙度<1nm,能满足SEM、EBSD、EPMA等分析需求;
(2)无损伤无污染:非接触式离子溅射避免机械应力与亚表面损伤,真空环境杜绝研磨剂等外部污染;
(3)材料普适性强:不受硬度、导电性限制,广泛适用于金属、陶瓷、半导体、聚合物、生物材料及多相复合材料;
(4)复杂结构解析:精准制备材料截面,清晰呈现异质界面、纳米结构等传统方法难以观察的微观细节;
(5)形态兼容性佳:支持块体、薄膜、粉末多种形态样品的精密切割与制备;
(6)特定位置加工:可针对界面、缺陷等特定区域进行定点精准加工;
(7)大范围处理:单次抛光宽度可达5mm,显著提升处理效率;
(8)低温切割能力:配备冷冻台,支持液氮温度环境下的样品切割,满足特殊需求。
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